半導体製造装置では一般的にACヒーターなどを用いて、正確な温度制御を行い素材への蒸着(CVD/PVD)を行っております。ACヒーターでの制御である為、入力電圧の変動がある場合正確な温度制御ができず凹凸（加工ムラ）が発生することがあります。交流安定化電源を導入することで電力供給不足に対して、安定した製造を維持することが可能です。