蒸着（CVD/PVD）って、そもそもナニ？　「交流電源による安定化の例」

半導体製造装置では一般的にACヒーターなどを用いて、正確な温度制御を行い素材への蒸着(CVD/PVD)を行っております。ACヒーターで入力電圧の変動がある場合正確な温度制御ができず凹凸（加工ムラ）が発生することがあります。最近では2020年の冬に電力供給不足が発生し、需要者への供給が33,000V→32850Vになった際には、製造時の品質に影響を及ぼしたケースが実際発生しております。このような場合、交流安定化電源を導入することで電力供給不足に対して、安定した製造を維持することが可能です。

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